Mask Miss Align 검사 광학계
FPD 대형 Panel 공정 진행 시 발생할 수 있는 Mask의 정렬 오차에 의해 발생하는 빛샘 불량 정밀검사 할 수 있는 현미경 광학계
| 항목 | Specification |
|---|---|
| 검사 대상 | OLED Panel |
| 카메라 | 3.2MP 3CMOS Color Camera |
| AFU | ATF6 |
| 분해능 | 0.46 μm |
| FOV | 0.979 × 0.71 mm |
| 조명 | 동축 조명 |
FPD Optics 기술
FPD Optics Technologies
내부 이물 검사용 2.5D 검사 광학계
디스플레이용 고해상도 Cell의 표면 파티클과 내부 진성 이물의 높이 편차를 계산할 수 있는 stereo 광학계
| 구분 | Specification |
|---|---|
| 카메라 | 16K line Scan |
| 분해능 | 5 μm/pixel |
| 검출 | 25 μm 이상 |
| 조명 | 동축낙사 조명 |
| Scan Speed | 120 mm/s |
TSP/Chipping 검사 광학계
디스플레이용 고해상도 Cell의 TSP(Touch Screen Panel) Pattern 검사 & Edge부에서 발생하는 Chipping을 검사할 수 있는 현미경 광학계
| 항목 | 구분 |
|---|---|
| 검사 대상 | OLEDoS, OLEDoG, LEDoS |
| 카메라 | 100MP Mono Area Camera |
| 렌즈 | 2.5× 고해상도 렌즈 |
| 분해능 | 1.3 μm |
| 조명 | B/F + D/F |
| Scan Speed | 120 mm/s |
UPC 광학 특성 측정 광학계
OLED Cell UPC (Under Panel Camera) 용 Hole의 광학 특성 (투과율, MTF, 회절률 등)을 검사할 수 있는 광학계
| 항목 | Specification |
|---|---|
| 검사 대상 | UPC Hole |
| T Axis | 정밀제어 |
| Detector | CAS140D |
| 분해능 | 1.0 μm |
| 회전량 | ±60도 |
| Light Source | Laser or Xenon |